有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响
유궤파도제비공예대악보파전감기성능적영향
Effect of organic guiding layer preparation technique on properties of love wave sensor
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2009年 3期 427-428,435 ,共3页

    胡佳%杜晓松%杨邦朝%谢光忠%应智花%蒋亚东%王涛%袁凯

    호가%두효송%양방조%사광충%응지화%장아동%왕도%원개

    乐甫波传感器%PMMA波导%插损%质量灵敏度 樂甫波傳感器%PMMA波導%插損%質量靈敏度
    악보파전감기%PMMA파도%삽손%질량령민도
    研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器,研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系.采用低浓度、低粘度的前驱溶液,多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜,降低了器件的插损,实现了2.18/μm的"有效厚度",器件的质量灵敏度达705cm2/g,与前人相比提高了1倍.
    연구료기우PMMA파도적악보파전감기,연구료기건적삽손이급질량령민도수파도층후도변화적관계.채용저농도、저점도적전구용액,다보선도공예제비료PMMA파도박막,강저료기건적삽손,실현료2.18/μm적"유효후도",기건적질량령민도체705cm2/g,여전인상비제고료1배.
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