CAJ | 학술논문

使用脉冲激光沉积技术在不同氦压下制备了系列无氢类金刚石薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收光谱和光致发光光谱,采用原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌,研究了薄膜的微结构和光学性质与制备条件的依赖关系. 结果表明,该薄膜是由sp2和sp3杂化碳原子组成的非晶碳膜. 薄膜的光学带隙在1.45～1.78 eV. 薄膜的发光在可见光区呈宽带结构,氦压能够对类金刚石薄膜的结构和光学性质产生较大影响. 当氦压从0.05 Pa升高至15 Pa时,sp2团簇变大,带尾态增多,从而导致薄膜的发光增强,光学带隙变窄,发光峰位红移. AFM 形貌表明随着氦压的升高,薄膜的表面由致密光滑变得粗糙,并且许多大小不均匀的球状颗粒出现在薄膜表面.
사용맥충격광침적기술재불동양압하제비료계렬무경류금강석박막,측량료양품적Raman광보、광흡수광보화광치발광광보,채용원자력현미경측시료박막적표면형모,연구료박막적미결구화광학성질여제비조건적의뢰관계. 결과표명,해박막시유sp2화sp3잡화탄원자조성적비정탄막. 박막적광학대극재1.45～1.78 eV. 박막적발광재가견광구정관대결구,양압능구대류금강석박막적결구화광학성질산생교대영향. 당양압종0.05 Pa승고지15 Pa시,sp2단족변대,대미태증다,종이도치박막적발광증강,광학대극변착,발광봉위홍이. AFM 형모표명수착양압적승고,박막적표면유치밀광활변득조조,병차허다대소불균균적구상과립출현재박막표면.