微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2011年
2期
17-19
,共3页
谢贵久%刘利民%何迎辉%贾京英%景涛
謝貴久%劉利民%何迎輝%賈京英%景濤
사귀구%류이민%하영휘%가경영%경도
氢气氢敏%薄膜%PdCr合金%Pt%二极管%电阻%溅射
氫氣氫敏%薄膜%PdCr閤金%Pt%二極管%電阻%濺射
경기경민%박막%PdCr합금%Pt%이겁관%전조%천사
采用将类光激发二极管(即N-Si/Thin-Si02/Thin-Ta/PdCr/Pt结构)、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0～2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间.
採用將類光激髮二極管(即N-Si/Thin-Si02/Thin-Ta/PdCr/Pt結構)、PdCr閤金薄膜電阻、Pt加熱和感溫雙電阻溫控繫統等集成的方式,研製瞭微型薄膜集成氫氣敏感器件,能穩定測量0～2%體積分數的氫氣,且具有較快的響應和恢複時間.
채용장류광격발이겁관(즉N-Si/Thin-Si02/Thin-Ta/PdCr/Pt결구)、PdCr합금박막전조、Pt가열화감온쌍전조온공계통등집성적방식,연제료미형박막집성경기민감기건,능은정측량0～2%체적분수적경기,차구유교쾌적향응화회복시간.
