材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
15期
27-31
,共5页
单晶硅%自组装膜%摩擦学性能%微型电子机械系统
單晶硅%自組裝膜%摩抆學性能%微型電子機械繫統
단정규%자조장막%마찰학성능%미형전자궤계계통
总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展.单层膜能够有效降低硅基底的摩擦系数,但是其承载能力和抗磨损性能较差,其中较为典型的是OTS(十八烷基三氯硅烷)自组装膜；有机双层膜和多层膜的出现,一定程度上改善了单层膜的承载能力和耐磨性,但膜的有序性和稳定性还有待于进一步的提高；近年来,有机/无机复合膜的研究为改善硅表面的摩擦学性能提供了一条新的途径,有望成为今后该领域研究的一个重要方向.
總結瞭目前在單晶硅錶麵構建的幾類典型的分子自組裝膜,併著重介紹瞭近十幾年裏各類自組裝膜在摩抆學性能研究方麵所取得的進展.單層膜能夠有效降低硅基底的摩抆繫數,但是其承載能力和抗磨損性能較差,其中較為典型的是OTS(十八烷基三氯硅烷)自組裝膜；有機雙層膜和多層膜的齣現,一定程度上改善瞭單層膜的承載能力和耐磨性,但膜的有序性和穩定性還有待于進一步的提高；近年來,有機/無機複閤膜的研究為改善硅錶麵的摩抆學性能提供瞭一條新的途徑,有望成為今後該領域研究的一箇重要方嚮.
총결료목전재단정규표면구건적궤류전형적분자자조장막,병착중개소료근십궤년리각류자조장막재마찰학성능연구방면소취득적진전.단층막능구유효강저규기저적마찰계수,단시기승재능력화항마손성능교차,기중교위전형적시OTS(십팔완기삼록규완)자조장막；유궤쌍층막화다층막적출현,일정정도상개선료단층막적승재능력화내마성,단막적유서성화은정성환유대우진일보적제고；근년래,유궤/무궤복합막적연구위개선규표면적마찰학성능제공료일조신적도경,유망성위금후해영역연구적일개중요방향.
