金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
5期
10-14
,共5页
吴宇琼%满卫东%翁俊%吕继磊
吳宇瓊%滿衛東%翁俊%呂繼磊
오우경%만위동%옹준%려계뢰
微波等离子体%化学气相沉积%金刚石膜%气体流向
微波等離子體%化學氣相沉積%金剛石膜%氣體流嚮
미파등리자체%화학기상침적%금강석막%기체류향
为了提高金刚石膜的沉积速率和沉积质量,本文通过在5 kW微波等离子体化学气相沉积装置(MPCVD)的腔体内添加“限流环”,运用较高的微波功率(4700 W)以较高的沉积速率(25.0μm/h)得到了高质量的金刚石膜.添加“限流环”后,明显改变了工作气体在腔体中的流向.在高功率微波下,工作气体能尽可能多地流经高能等离子体活化区,从而被更高效、充分地离化成含碳基团,以提高金刚石膜的沉积速率和沉积质量.利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱等表征手段研究了在改进前后装置中所沉积的金刚石膜的结构和质量,结果表明:利用较高的微波功率,能在改进后的MPCVD装置中高速沉积高质量的金刚石膜.
為瞭提高金剛石膜的沉積速率和沉積質量,本文通過在5 kW微波等離子體化學氣相沉積裝置(MPCVD)的腔體內添加“限流環”,運用較高的微波功率(4700 W)以較高的沉積速率(25.0μm/h)得到瞭高質量的金剛石膜.添加“限流環”後,明顯改變瞭工作氣體在腔體中的流嚮.在高功率微波下,工作氣體能儘可能多地流經高能等離子體活化區,從而被更高效、充分地離化成含碳基糰,以提高金剛石膜的沉積速率和沉積質量.利用掃描電子顯微鏡(SEM)、Raman光譜等錶徵手段研究瞭在改進前後裝置中所沉積的金剛石膜的結構和質量,結果錶明:利用較高的微波功率,能在改進後的MPCVD裝置中高速沉積高質量的金剛石膜.
위료제고금강석막적침적속솔화침적질량,본문통과재5 kW미파등리자체화학기상침적장치(MPCVD)적강체내첨가“한류배”,운용교고적미파공솔(4700 W)이교고적침적속솔(25.0μm/h)득도료고질량적금강석막.첨가“한류배”후,명현개변료공작기체재강체중적류향.재고공솔미파하,공작기체능진가능다지류경고능등리자체활화구,종이피경고효、충분지리화성함탄기단,이제고금강석막적침적속솔화침적질량.이용소묘전자현미경(SEM)、Raman광보등표정수단연구료재개진전후장치중소침적적금강석막적결구화질량,결과표명:이용교고적미파공솔,능재개진후적MPCVD장치중고속침적고질량적금강석막.
