人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
4期
921-925
,共5页
赵庆勋%张婷%马继奎%魏大勇%王宽冒%刘保亭
趙慶勛%張婷%馬繼奎%魏大勇%王寬冒%劉保亭
조경훈%장정%마계규%위대용%왕관모%류보정
磁控溅射%沉积温度%SrRuO3%BiFeO3薄膜
磁控濺射%沉積溫度%SrRuO3%BiFeO3薄膜
자공천사%침적온도%SrRuO3%BiFeO3박막
应用磁控溅射法在以SrRuO3 (SRO)薄膜为缓冲层的Pt/TiO2/SiO2/Si(001)基片上制备了多晶BiFeO3 (BFO)薄膜,构架了SRO/BFO/SRO异质结电容器.采用X射线衍射、铁电测试仪等研究沉积温度对BFO薄膜结构和性能的影响.X射线衍射图谱显示BFO薄膜为多晶结构.在2.5 kHz测试频率下,500℃生长的BFO薄膜呈现比较饱和的电滞回线,2Pr为145μC/cm2,矫顽场Ec为158 kV/cm,漏电流密度约为2.4×104 A/cm2.漏电机制研究表明,在低电场区,SRO/BFO/SRO电容器满足欧姆导电机制,在高电场区,满足普尔-弗兰克导电机理.实验发现:SRO/BFO/SRO电容器经过109翻转后仍具有良好的抗疲劳特性.
應用磁控濺射法在以SrRuO3 (SRO)薄膜為緩遲層的Pt/TiO2/SiO2/Si(001)基片上製備瞭多晶BiFeO3 (BFO)薄膜,構架瞭SRO/BFO/SRO異質結電容器.採用X射線衍射、鐵電測試儀等研究沉積溫度對BFO薄膜結構和性能的影響.X射線衍射圖譜顯示BFO薄膜為多晶結構.在2.5 kHz測試頻率下,500℃生長的BFO薄膜呈現比較飽和的電滯迴線,2Pr為145μC/cm2,矯頑場Ec為158 kV/cm,漏電流密度約為2.4×104 A/cm2.漏電機製研究錶明,在低電場區,SRO/BFO/SRO電容器滿足歐姆導電機製,在高電場區,滿足普爾-弗蘭剋導電機理.實驗髮現:SRO/BFO/SRO電容器經過109翻轉後仍具有良好的抗疲勞特性.
응용자공천사법재이SrRuO3 (SRO)박막위완충층적Pt/TiO2/SiO2/Si(001)기편상제비료다정BiFeO3 (BFO)박막,구가료SRO/BFO/SRO이질결전용기.채용X사선연사、철전측시의등연구침적온도대BFO박막결구화성능적영향.X사선연사도보현시BFO박막위다정결구.재2.5 kHz측시빈솔하,500℃생장적BFO박막정현비교포화적전체회선,2Pr위145μC/cm2,교완장Ec위158 kV/cm,루전류밀도약위2.4×104 A/cm2.루전궤제연구표명,재저전장구,SRO/BFO/SRO전용기만족구모도전궤제,재고전장구,만족보이-불란극도전궤리.실험발현:SRO/BFO/SRO전용기경과109번전후잉구유량호적항피로특성.
