微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
9期
557-560
,共4页
杨修文%祝生祥%江锐%石义杰
楊脩文%祝生祥%江銳%石義傑
양수문%축생상%강예%석의걸
光纤探针%楔形%化学腐蚀%挤压变形%压力
光纖探針%楔形%化學腐蝕%擠壓變形%壓力
광섬탐침%설형%화학부식%제압변형%압력
基于挤压形变的原理,设计了一种用于制备楔形光纤探针的化学腐蚀简易装置.以普通的石英光纤为材料,通过改变自制夹具的松紧程度引起夹具在光纤上挤压力的变化,使光纤发生形变形成楔形,然后用适当比例的氢氟酸腐蚀液,制备出楔形的光纤探针.该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、易于批量生产、受环境的影响较小、获得的探针表面光滑等优点.实验表明,外力越大,挤压形成的光纤楔角越小,楔形光纤顶端的脊越大,楔角为15°～40°,楔脊可达4 μm.
基于擠壓形變的原理,設計瞭一種用于製備楔形光纖探針的化學腐蝕簡易裝置.以普通的石英光纖為材料,通過改變自製夾具的鬆緊程度引起夾具在光纖上擠壓力的變化,使光纖髮生形變形成楔形,然後用適噹比例的氫氟痠腐蝕液,製備齣楔形的光纖探針.該法具有重複性高、探針形貌可控、操作方便、實驗費用低廉、易于批量生產、受環境的影響較小、穫得的探針錶麵光滑等優點.實驗錶明,外力越大,擠壓形成的光纖楔角越小,楔形光纖頂耑的脊越大,楔角為15°～40°,楔脊可達4 μm.
기우제압형변적원리,설계료일충용우제비설형광섬탐침적화학부식간역장치.이보통적석영광섬위재료,통과개변자제협구적송긴정도인기협구재광섬상제압력적변화,사광섬발생형변형성설형,연후용괄당비례적경불산부식액,제비출설형적광섬탐침.해법구유중복성고、탐침형모가공、조작방편、실험비용저렴、역우비량생산、수배경적영향교소、획득적탐침표면광활등우점.실험표명,외력월대,제압형성적광섬설각월소,설형광섬정단적척월대,설각위15°～40°,설척가체4 μm.
