人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
6期
1355-1360
,共6页
郭会斌%王凤英%贺琦%魏俊俊%王耀华%吕反修
郭會斌%王鳳英%賀琦%魏俊俊%王耀華%呂反脩
곽회빈%왕봉영%하기%위준준%왕요화%려반수
HfO2薄膜%反应磁控溅射法%红外透过率%增透
HfO2薄膜%反應磁控濺射法%紅外透過率%增透
HfO2박막%반응자공천사법%홍외투과솔%증투
采用纯铪(Hf)金属靶,在氧+氩反应气氛中进行了HfO2薄膜直流反应磁控溅射沉积.首先在单晶硅片上沉积薄膜,研究工艺参数改变对薄膜的影响,然后选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果.利用X射线光电子能谱(XPS)研究了O2/Ar比例对薄膜组成的影响.利用X射线衍射仪(GIXRD)和椭偏仪(Ellipsometer)研究了不同衬底温度对氧化铪薄膜组织结构和光学性能的影响.采用傅立叶红外光谱仪(FTIR)检测了镀膜前后金刚石红外透过性能,发现双面镀制HfO2薄膜能够有效提高金刚石在8～12 μm的红外透过性能,在8 μm处最大增透可达21.6%,使金刚石红外透过率达到88%;在3～5 μm范围,双面镀制了HfO2薄膜的金刚石平均透过率达66.8%,比没有镀膜的金刚石在该处的平均透过率54%高出12.8%.
採用純鉿(Hf)金屬靶,在氧+氬反應氣氛中進行瞭HfO2薄膜直流反應磁控濺射沉積.首先在單晶硅片上沉積薄膜,研究工藝參數改變對薄膜的影響,然後選擇較優的工藝在金剛石錶麵沉積符閤光學厚度的薄膜,達到增透減反射效果.利用X射線光電子能譜(XPS)研究瞭O2/Ar比例對薄膜組成的影響.利用X射線衍射儀(GIXRD)和橢偏儀(Ellipsometer)研究瞭不同襯底溫度對氧化鉿薄膜組織結構和光學性能的影響.採用傅立葉紅外光譜儀(FTIR)檢測瞭鍍膜前後金剛石紅外透過性能,髮現雙麵鍍製HfO2薄膜能夠有效提高金剛石在8～12 μm的紅外透過性能,在8 μm處最大增透可達21.6%,使金剛石紅外透過率達到88%;在3～5 μm範圍,雙麵鍍製瞭HfO2薄膜的金剛石平均透過率達66.8%,比沒有鍍膜的金剛石在該處的平均透過率54%高齣12.8%.
채용순협(Hf)금속파,재양+아반응기분중진행료HfO2박막직류반응자공천사침적.수선재단정규편상침적박막,연구공예삼수개변대박막적영향,연후선택교우적공예재금강석표면침적부합광학후도적박막,체도증투감반사효과.이용X사선광전자능보(XPS)연구료O2/Ar비례대박막조성적영향.이용X사선연사의(GIXRD)화타편의(Ellipsometer)연구료불동츤저온도대양화협박막조직결구화광학성능적영향.채용부립협홍외광보의(FTIR)검측료도막전후금강석홍외투과성능,발현쌍면도제HfO2박막능구유효제고금강석재8～12 μm적홍외투과성능,재8 μm처최대증투가체21.6%,사금강석홍외투과솔체도88%;재3～5 μm범위,쌍면도제료HfO2박막적금강석평균투과솔체66.8%,비몰유도막적금강석재해처적평균투과솔54%고출12.8%.
