传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2009年
1期
6-11,20
,共7页
金属氧化物%复合氧化物%气敏性%气敏材料
金屬氧化物%複閤氧化物%氣敏性%氣敏材料
금속양화물%복합양화물%기민성%기민재료
金属氧化物是重要的半导体材料,具有较好的气敏特性,作为气敏材料被广泛应用.本文较系统地对金属氧化物气敏材料的研究现状作了阐述,重点介绍了复合氧化物气敏材料的研究状况,并对其气敏性质进行了概述.展望了金属氧化物半导体气敏材料今后的研究重点及发展方向.
金屬氧化物是重要的半導體材料,具有較好的氣敏特性,作為氣敏材料被廣汎應用.本文較繫統地對金屬氧化物氣敏材料的研究現狀作瞭闡述,重點介紹瞭複閤氧化物氣敏材料的研究狀況,併對其氣敏性質進行瞭概述.展望瞭金屬氧化物半導體氣敏材料今後的研究重點及髮展方嚮.
금속양화물시중요적반도체재료,구유교호적기민특성,작위기민재료피엄범응용.본문교계통지대금속양화물기민재료적연구현상작료천술,중점개소료복합양화물기민재료적연구상황,병대기기민성질진행료개술.전망료금속양화물반도체기민재료금후적연구중점급발전방향.