真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2008年
5期
25-28
,共4页
微束斑X射线源%数值模拟%结构优化
微束斑X射線源%數值模擬%結構優化
미속반X사선원%수치모의%결구우화
首先给出了采用场致发射阴极的微束斑X射线源电子光学系统结构,然后利用数值模拟的方法对该系统进行了计算与分析,最终获得了一发射电流约为80μA,束斑半径约为3.2μm的微束斑X射线源电子光学系统优化结构.该结构制作简单、体积小,可供制作微束斑X射线源时选用.
首先給齣瞭採用場緻髮射陰極的微束斑X射線源電子光學繫統結構,然後利用數值模擬的方法對該繫統進行瞭計算與分析,最終穫得瞭一髮射電流約為80μA,束斑半徑約為3.2μm的微束斑X射線源電子光學繫統優化結構.該結構製作簡單、體積小,可供製作微束斑X射線源時選用.
수선급출료채용장치발사음겁적미속반X사선원전자광학계통결구,연후이용수치모의적방법대해계통진행료계산여분석,최종획득료일발사전류약위80μA,속반반경약위3.2μm적미속반X사선원전자광학계통우화결구.해결구제작간단、체적소,가공제작미속반X사선원시선용.
