中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
10期
1600-1604
,共5页
王聪娟%晋云霞%邵建达%范正修
王聰娟%晉雲霞%邵建達%範正脩
왕총연%진운하%소건체%범정수
薄膜%氧化锆%抗激光损伤阈值%退火%激光预处理%离子后处理
薄膜%氧化鋯%抗激光損傷閾值%退火%激光預處理%離子後處理
박막%양화고%항격광손상역치%퇴화%격광예처리%리자후처리
采用有氧热处理、激光预处理和离子后处理三种方式对电子束蒸发(EBE)制备的单层ZrO2薄膜进行了后处理,并分别对样品的光学性能和抗激光损伤阈值(LIDT)特性进行了研究.实验结果表明,热处理方式可以有效排除膜层内吸附的水气,弥补薄膜制备过程中的氧损失,使得光谱短移、吸收减小、损伤阈值增高;激光预处理过程可以在一定程度上减少缺陷、提高损伤阂值,但对膜层的光谱和吸收情况没有明显的改善作用;而离子后处理能够提高膜层的堆积密度、减少缺陷、降低吸收从而提高损伤阚值.由于三种方式处理机制不同,在实际应用中应根据膜层的性能选择合适的处理方式.
採用有氧熱處理、激光預處理和離子後處理三種方式對電子束蒸髮(EBE)製備的單層ZrO2薄膜進行瞭後處理,併分彆對樣品的光學性能和抗激光損傷閾值(LIDT)特性進行瞭研究.實驗結果錶明,熱處理方式可以有效排除膜層內吸附的水氣,瀰補薄膜製備過程中的氧損失,使得光譜短移、吸收減小、損傷閾值增高;激光預處理過程可以在一定程度上減少缺陷、提高損傷閡值,但對膜層的光譜和吸收情況沒有明顯的改善作用;而離子後處理能夠提高膜層的堆積密度、減少缺陷、降低吸收從而提高損傷闞值.由于三種方式處理機製不同,在實際應用中應根據膜層的性能選擇閤適的處理方式.
채용유양열처리、격광예처리화리자후처리삼충방식대전자속증발(EBE)제비적단층ZrO2박막진행료후처리,병분별대양품적광학성능화항격광손상역치(LIDT)특성진행료연구.실험결과표명,열처리방식가이유효배제막층내흡부적수기,미보박막제비과정중적양손실,사득광보단이、흡수감소、손상역치증고;격광예처리과정가이재일정정도상감소결함、제고손상애치,단대막층적광보화흡수정황몰유명현적개선작용;이리자후처리능구제고막층적퇴적밀도、감소결함、강저흡수종이제고손상감치.유우삼충방식처리궤제불동,재실제응용중응근거막층적성능선택합괄적처리방식.
