中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
12期
2026-2030
,共5页
余华%崔云%申雁鸣%齐红基%易葵%邵建达%范正修
餘華%崔雲%申雁鳴%齊紅基%易葵%邵建達%範正脩
여화%최운%신안명%제홍기%역규%소건체%범정수
薄膜%增透膜%热舟蒸发%真空退火%激光损伤阈值
薄膜%增透膜%熱舟蒸髮%真空退火%激光損傷閾值
박막%증투막%열주증발%진공퇴화%격광손상역치
用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了355 nm LaF3/MgF2增透膜,并对部分样品进行了真空退火.采用Lambda 900光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱,并考察了其光谱稳定性;使用脉冲8 ns的355 nm激光测试了增透膜的激光损伤阈值(LIDT);采用Normarski显微镜对增透膜的表面缺陷密度和破斑形貌进行了观察.实验结果表明,制备得到的增透膜的剩余反射率较低,光谱稳定性好;真空退火对增透膜的激光损伤阈值没有改善;增透膜的破环形貌为散点形式,结合破斑深度测试表明薄膜的破坏源于薄膜和基底界面的缺陷点.JGSl熔石英基底由于有好的表面状况、固有的高激光损伤阈值和以其为基底的增透膜具有更低的表面场强,使得其上的增透膜有更高的抗激光损伤能力.
用熱舟蒸髮法結閤脩正擋闆技術製備瞭355 nm LaF3/MgF2增透膜,併對部分樣品進行瞭真空退火.採用Lambda 900光譜儀測試瞭增透膜的低反光譜和透射光譜,併攷察瞭其光譜穩定性;使用脈遲8 ns的355 nm激光測試瞭增透膜的激光損傷閾值(LIDT);採用Normarski顯微鏡對增透膜的錶麵缺陷密度和破斑形貌進行瞭觀察.實驗結果錶明,製備得到的增透膜的剩餘反射率較低,光譜穩定性好;真空退火對增透膜的激光損傷閾值沒有改善;增透膜的破環形貌為散點形式,結閤破斑深度測試錶明薄膜的破壞源于薄膜和基底界麵的缺陷點.JGSl鎔石英基底由于有好的錶麵狀況、固有的高激光損傷閾值和以其為基底的增透膜具有更低的錶麵場彊,使得其上的增透膜有更高的抗激光損傷能力.
용열주증발법결합수정당판기술제비료355 nm LaF3/MgF2증투막,병대부분양품진행료진공퇴화.채용Lambda 900광보의측시료증투막적저반광보화투사광보,병고찰료기광보은정성;사용맥충8 ns적355 nm격광측시료증투막적격광손상역치(LIDT);채용Normarski현미경대증투막적표면결함밀도화파반형모진행료관찰.실험결과표명,제비득도적증투막적잉여반사솔교저,광보은정성호;진공퇴화대증투막적격광손상역치몰유개선;증투막적파배형모위산점형식,결합파반심도측시표명박막적파배원우박막화기저계면적결함점.JGSl용석영기저유우유호적표면상황、고유적고격광손상역치화이기위기저적증투막구유경저적표면장강,사득기상적증투막유경고적항격광손상능력.
