微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
4期
22-24,31
,共4页
周国安%柳滨%王学军%种宝春
週國安%柳濱%王學軍%種寶春
주국안%류빈%왕학군%충보춘
化学机械抛光%离线终点检测%在线终点检测%光学干涉%反射率迹线
化學機械拋光%離線終點檢測%在線終點檢測%光學榦涉%反射率跡線
화학궤계포광%리선종점검측%재선종점검측%광학간섭%반사솔적선
为了使CMP抛光精度更为精确,根据光学干涉原理设计了单点光学终点检测装置,给出了整套检测系统的简图和处理流程.在理想条件下,仿真单点光学检测的相干相位及反射率迹线,得出反射率迹线与抛光掉的透明层存在着函数关系,在实际条件核实了二者之间映射情况.采用九点测量后确认此函数条件下的单点光学终点检测具备高度的精确性,在此基础上推测了抛光头吸附晶圆以设定频率摆动情况下,光学传感器采集与处理数据的方法和过程.实际工艺操作证明,在综合运动条件下,其精度也达到要求.
為瞭使CMP拋光精度更為精確,根據光學榦涉原理設計瞭單點光學終點檢測裝置,給齣瞭整套檢測繫統的簡圖和處理流程.在理想條件下,倣真單點光學檢測的相榦相位及反射率跡線,得齣反射率跡線與拋光掉的透明層存在著函數關繫,在實際條件覈實瞭二者之間映射情況.採用九點測量後確認此函數條件下的單點光學終點檢測具備高度的精確性,在此基礎上推測瞭拋光頭吸附晶圓以設定頻率襬動情況下,光學傳感器採集與處理數據的方法和過程.實際工藝操作證明,在綜閤運動條件下,其精度也達到要求.
위료사CMP포광정도경위정학,근거광학간섭원리설계료단점광학종점검측장치,급출료정투검측계통적간도화처리류정.재이상조건하,방진단점광학검측적상간상위급반사솔적선,득출반사솔적선여포광도적투명층존재착함수관계,재실제조건핵실료이자지간영사정황.채용구점측량후학인차함수조건하적단점광학종점검측구비고도적정학성,재차기출상추측료포광두흡부정원이설정빈솔파동정황하,광학전감기채집여처리수거적방법화과정.실제공예조작증명,재종합운동조건하,기정도야체도요구.
