四川师范大学学报(自然科学版)
四川師範大學學報(自然科學版)
사천사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SICHUAN NORMAL UNIVERSITY(Natural Science)
2008年
5期
593-596
,共4页
张晋敏%谢泉%梁艳%曾武贤
張晉敏%謝泉%樑豔%曾武賢
장진민%사천%량염%증무현
磁控溅射%溅射参数%Fe-Si化合物%X-射线衍射%晶体结构
磁控濺射%濺射參數%Fe-Si化閤物%X-射線衍射%晶體結構
자공천사%천사삼수%Fe-Si화합물%X-사선연사%정체결구
对直流磁控溅射方法制备Fe-Si化合物的工艺过程进行了研究.首先通过改变溅射气压,溅射功率和Ar气流量,在Si(100)衬底上沉积约100 nm纯金属Fe膜,随后在真空退火炉中800 ℃长时间退火形成Fe-Si化合物.由X射线衍射(XRD)对所形成的Fe-Si化合物的物相和晶体结构进行分析,给出了一组最优化的溅射工艺参数:溅射Ar气压1.5 Pa,溅射功率100 W,溅射Ar气流量20 SCCM.
對直流磁控濺射方法製備Fe-Si化閤物的工藝過程進行瞭研究.首先通過改變濺射氣壓,濺射功率和Ar氣流量,在Si(100)襯底上沉積約100 nm純金屬Fe膜,隨後在真空退火爐中800 ℃長時間退火形成Fe-Si化閤物.由X射線衍射(XRD)對所形成的Fe-Si化閤物的物相和晶體結構進行分析,給齣瞭一組最優化的濺射工藝參數:濺射Ar氣壓1.5 Pa,濺射功率100 W,濺射Ar氣流量20 SCCM.
대직류자공천사방법제비Fe-Si화합물적공예과정진행료연구.수선통과개변천사기압,천사공솔화Ar기류량,재Si(100)츤저상침적약100 nm순금속Fe막,수후재진공퇴화로중800 ℃장시간퇴화형성Fe-Si화합물.유X사선연사(XRD)대소형성적Fe-Si화합물적물상화정체결구진행분석,급출료일조최우화적천사공예삼수:천사Ar기압1.5 Pa,천사공솔100 W,천사Ar기류량20 SCCM.
