洛阳理工学院学报（自然科学版）
洛暘理工學院學報（自然科學版）
락양리공학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF LUOYANG INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
2期
8-12,17
,共6页
王昶清%秦臻%王春雷%贾瑜
王昶清%秦臻%王春雷%賈瑜
왕창청%진진%왕춘뢰%가유
表面扩散%分子动力学模拟%台阶%Si(001)表面%Stillinger-Weber势
錶麵擴散%分子動力學模擬%檯階%Si(001)錶麵%Stillinger-Weber勢
표면확산%분자동역학모의%태계%Si(001)표면%Stillinger-Weber세
采用Stillinger-Weber势,利用分子动力学方法模拟了si原子在Si(001)表面和该表面单层台阶附近扩散的动力学过程.(1)给出单个Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散的扩散路径和扩散机制.Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散能够减弱Si原子在Si(001)表面扩散的各向异性.(2)模拟不仅给出与以往文献中原子从SA台阶下台面扩散到上台面相同的扩散路径而且还给出原子从成键的SB台阶上台面扩散到下台面的一种新的扩散机制:增原子通过与表面原子之间的交换.从而解释实验上观察到的Si(001)表面双层原子台阶形成的机制.无论是单个Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散还是在Si(001)表面的单层台阶附近扩散,增原子和表面原子之间的交换机制都起着重要的作用.
採用Stillinger-Weber勢,利用分子動力學方法模擬瞭si原子在Si(001)錶麵和該錶麵單層檯階附近擴散的動力學過程.(1)給齣單箇Si原子在Si(001)錶麵垂直于二聚體排方嚮擴散的擴散路徑和擴散機製.Si原子在Si(001)錶麵垂直于二聚體排方嚮擴散能夠減弱Si原子在Si(001)錶麵擴散的各嚮異性.(2)模擬不僅給齣與以往文獻中原子從SA檯階下檯麵擴散到上檯麵相同的擴散路徑而且還給齣原子從成鍵的SB檯階上檯麵擴散到下檯麵的一種新的擴散機製:增原子通過與錶麵原子之間的交換.從而解釋實驗上觀察到的Si(001)錶麵雙層原子檯階形成的機製.無論是單箇Si原子在Si(001)錶麵垂直于二聚體排方嚮擴散還是在Si(001)錶麵的單層檯階附近擴散,增原子和錶麵原子之間的交換機製都起著重要的作用.
채용Stillinger-Weber세,이용분자동역학방법모의료si원자재Si(001)표면화해표면단층태계부근확산적동역학과정.(1)급출단개Si원자재Si(001)표면수직우이취체배방향확산적확산로경화확산궤제.Si원자재Si(001)표면수직우이취체배방향확산능구감약Si원자재Si(001)표면확산적각향이성.(2)모의불부급출여이왕문헌중원자종SA태계하태면확산도상태면상동적확산로경이차환급출원자종성건적SB태계상태면확산도하태면적일충신적확산궤제:증원자통과여표면원자지간적교환.종이해석실험상관찰도적Si(001)표면쌍층원자태계형성적궤제.무론시단개Si원자재Si(001)표면수직우이취체배방향확산환시재Si(001)표면적단층태계부근확산,증원자화표면원자지간적교환궤제도기착중요적작용.
