江南大学学报（自然科学版）
江南大學學報（自然科學版）
강남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHERN YANGTZE UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
2期
146-150
,共5页
宏模型%Galerkin方法%线性模态%本征正交分解
宏模型%Galerkin方法%線性模態%本徵正交分解
굉모형%Galerkin방법%선성모태%본정정교분해
将器件结构单元的线性模态振型函数(或是本征正交模态)作为全局基函数集合,结合Galerkin方法,获得具有足够仿真精度的微机电系统(MEMS)器件自由度缩减模型. 宏模型中相关的状态变量数目很少,可以被快速计算,便于植入系统仿真器中进行模拟. 文中分别阐述了这两种自由度缩减模型构造方法的优缺点及存在的问题,认为宏模型研究的重点将是器件非线性特性的有效表达以及建模过程自动化的计算机实现;并对非线性MEMS器件宏模型的研究发展给出了建议.
將器件結構單元的線性模態振型函數(或是本徵正交模態)作為全跼基函數集閤,結閤Galerkin方法,穫得具有足夠倣真精度的微機電繫統(MEMS)器件自由度縮減模型. 宏模型中相關的狀態變量數目很少,可以被快速計算,便于植入繫統倣真器中進行模擬. 文中分彆闡述瞭這兩種自由度縮減模型構造方法的優缺點及存在的問題,認為宏模型研究的重點將是器件非線性特性的有效錶達以及建模過程自動化的計算機實現;併對非線性MEMS器件宏模型的研究髮展給齣瞭建議.
장기건결구단원적선성모태진형함수(혹시본정정교모태)작위전국기함수집합,결합Galerkin방법,획득구유족구방진정도적미궤전계통(MEMS)기건자유도축감모형. 굉모형중상관적상태변량수목흔소,가이피쾌속계산,편우식입계통방진기중진행모의. 문중분별천술료저량충자유도축감모형구조방법적우결점급존재적문제,인위굉모형연구적중점장시기건비선성특성적유효표체이급건모과정자동화적계산궤실현;병대비선성MEMS기건굉모형적연구발전급출료건의.
