强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
1期
143-146
,共4页
离子注入%氮掺杂TiO2薄膜%光学带隙%退火
離子註入%氮摻雜TiO2薄膜%光學帶隙%退火
리자주입%담참잡TiO2박막%광학대극%퇴화
提出了一种利用离子注入和后续退火制备氮掺杂TiO2薄膜的方法.首先在室温下向石英玻璃中注入Ti离子,随后在氮气中退火到900 ℃,从而制备了氮掺杂的玻璃基TiO2薄膜.SRIM2006程序模拟和卢瑟福背散射谱(RBS)研究表明注入离子从样品表面开始呈高斯分布,实验结果和模拟结果吻合很好.X射线光电子能谱(XPS)研究结果表明注入态样品中形成了金属Ti和TiO2,900 ℃退火后金属Ti转变成TiO2,同时N原子替代少量的晶格O原子形成了O-Ti-N化合物.紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)结果显示,当退火温度至500 ℃时,在吸收光谱中开始出现TiO2的吸收边,随退火温度升高到900 ℃,由于O-Ti-N化合物形成,TiO2的吸收边从3.98 eV红移到3.30 eV,TiO2吸收边末端延伸到可见光区,在可见光区的吸收强度明显增加.
提齣瞭一種利用離子註入和後續退火製備氮摻雜TiO2薄膜的方法.首先在室溫下嚮石英玻璃中註入Ti離子,隨後在氮氣中退火到900 ℃,從而製備瞭氮摻雜的玻璃基TiO2薄膜.SRIM2006程序模擬和盧瑟福揹散射譜(RBS)研究錶明註入離子從樣品錶麵開始呈高斯分佈,實驗結果和模擬結果吻閤很好.X射線光電子能譜(XPS)研究結果錶明註入態樣品中形成瞭金屬Ti和TiO2,900 ℃退火後金屬Ti轉變成TiO2,同時N原子替代少量的晶格O原子形成瞭O-Ti-N化閤物.紫外-可見吸收光譜(UV-Vis)結果顯示,噹退火溫度至500 ℃時,在吸收光譜中開始齣現TiO2的吸收邊,隨退火溫度升高到900 ℃,由于O-Ti-N化閤物形成,TiO2的吸收邊從3.98 eV紅移到3.30 eV,TiO2吸收邊末耑延伸到可見光區,在可見光區的吸收彊度明顯增加.
제출료일충이용리자주입화후속퇴화제비담참잡TiO2박막적방법.수선재실온하향석영파리중주입Ti리자,수후재담기중퇴화도900 ℃,종이제비료담참잡적파리기TiO2박막.SRIM2006정서모의화로슬복배산사보(RBS)연구표명주입리자종양품표면개시정고사분포,실험결과화모의결과문합흔호.X사선광전자능보(XPS)연구결과표명주입태양품중형성료금속Ti화TiO2,900 ℃퇴화후금속Ti전변성TiO2,동시N원자체대소량적정격O원자형성료O-Ti-N화합물.자외-가견흡수광보(UV-Vis)결과현시,당퇴화온도지500 ℃시,재흡수광보중개시출현TiO2적흡수변,수퇴화온도승고도900 ℃,유우O-Ti-N화합물형성,TiO2적흡수변종3.98 eV홍이도3.30 eV,TiO2흡수변말단연신도가견광구,재가견광구적흡수강도명현증가.
