激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2008年
1期
81-83
,共3页
金刚石厚膜%热残余应力%模拟%失效
金剛石厚膜%熱殘餘應力%模擬%失效
금강석후막%열잔여응력%모의%실효
运用ANSYS软件建立了三维轴对称有限元模型,对金刚石厚膜(φ40mm×1mm)内部和膜/钼基体界面处的热残余应力各个分量的分布作了全面的模拟,讨论了热残余应力对金刚石厚膜失效的影响.结果表明,金刚石厚膜内的热残余应力各个分量并非均匀分布,离界面越近,其值越大;界面处大的轴向拉应力和剪应力对于厚膜从基体上脱落有重要影响;在膜的上表面靠近外边缘局部区域内存在较大的径向拉应力和轴向拉应力,是造成膜开裂失效的原因;本文的三维有限元模型比以往的一维解析模型更全面,且能更合理地解释金刚石膜的失效现象.
運用ANSYS軟件建立瞭三維軸對稱有限元模型,對金剛石厚膜(φ40mm×1mm)內部和膜/鉬基體界麵處的熱殘餘應力各箇分量的分佈作瞭全麵的模擬,討論瞭熱殘餘應力對金剛石厚膜失效的影響.結果錶明,金剛石厚膜內的熱殘餘應力各箇分量併非均勻分佈,離界麵越近,其值越大;界麵處大的軸嚮拉應力和剪應力對于厚膜從基體上脫落有重要影響;在膜的上錶麵靠近外邊緣跼部區域內存在較大的徑嚮拉應力和軸嚮拉應力,是造成膜開裂失效的原因;本文的三維有限元模型比以往的一維解析模型更全麵,且能更閤理地解釋金剛石膜的失效現象.
운용ANSYS연건건립료삼유축대칭유한원모형,대금강석후막(φ40mm×1mm)내부화막/목기체계면처적열잔여응력각개분량적분포작료전면적모의,토론료열잔여응력대금강석후막실효적영향.결과표명,금강석후막내적열잔여응력각개분량병비균균분포,리계면월근,기치월대;계면처대적축향랍응력화전응력대우후막종기체상탈락유중요영향;재막적상표면고근외변연국부구역내존재교대적경향랍응력화축향랍응력,시조성막개렬실효적원인;본문적삼유유한원모형비이왕적일유해석모형경전면,차능경합리지해석금강석막적실효현상.
