光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
1期
1-5
,共5页
李敏%范鲜红%尼启良%陈波
李敏%範鮮紅%尼啟良%陳波
리민%범선홍%니계량%진파
极紫外%微通道板%量子效率
極紫外%微通道闆%量子效率
겁자외%미통도판%양자효솔
提出了一种测量微通道板(MCP)量子效率的方法.该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源,使用传递标准探测器-硅光电二极管标定光源强度,用标定后的光照射待测MCP,采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流,再计算出MCP量子效率.实验结果表明,在12～40 nm,MCP量子效率为2%～12.3%,量子效率随波长的增大呈下降趋势.测量与误差分析表明,导致MCP量子效率测量结果变化的主要因素是光源稳定性和机械转动精度.通过与计数方式测量结果比较,进一步验证了本测量方法的正确性.
提齣瞭一種測量微通道闆(MCP)量子效率的方法.該方法選用激光等離子體光源作為極紫外輻射源,使用傳遞標準探測器-硅光電二極管標定光源彊度,用標定後的光照射待測MCP,採用直接測量電壓來間接測量探測器輸齣電流,再計算齣MCP量子效率.實驗結果錶明,在12～40 nm,MCP量子效率為2%～12.3%,量子效率隨波長的增大呈下降趨勢.測量與誤差分析錶明,導緻MCP量子效率測量結果變化的主要因素是光源穩定性和機械轉動精度.通過與計數方式測量結果比較,進一步驗證瞭本測量方法的正確性.
제출료일충측량미통도판(MCP)양자효솔적방법.해방법선용격광등리자체광원작위겁자외복사원,사용전체표준탐측기-규광전이겁관표정광원강도,용표정후적광조사대측MCP,채용직접측량전압래간접측량탐측기수출전류,재계산출MCP양자효솔.실험결과표명,재12～40 nm,MCP양자효솔위2%～12.3%,양자효솔수파장적증대정하강추세.측량여오차분석표명,도치MCP양자효솔측량결과변화적주요인소시광원은정성화궤계전동정도.통과여계수방식측량결과비교,진일보험증료본측량방법적정학성.
