武汉大学学报（理学版）
武漢大學學報（理學版）
무한대학학보（이학판）
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
5期
597-600
,共4页
陈志权%王栋%张宏俊%戴益群
陳誌權%王棟%張宏俊%戴益群
진지권%왕동%장굉준%대익군
氧化锌%氧化法%缺陷%慢正电子束
氧化鋅%氧化法%缺陷%慢正電子束
양화자%양화법%결함%만정전자속
用脉冲激光沉积方法在Al2O3(0001)衬底上制备了Zn薄膜,并在空气中氧化得到了ZnO薄膜.利用Raman光谱测量了氧化法制备的薄膜,并与ZnO单晶材料进行比较,证实了ZnO薄膜的形成.采用慢正电子束技术对ZnO薄膜的微观结构进行了研究,发现在薄膜中存在大量的空位型缺陷.当氧化后的薄膜在高温下退火后,缺陷浓度逐渐降低,在达到900 ℃时,所制备的ZnO薄膜中缺陷基本得到消除.
用脈遲激光沉積方法在Al2O3(0001)襯底上製備瞭Zn薄膜,併在空氣中氧化得到瞭ZnO薄膜.利用Raman光譜測量瞭氧化法製備的薄膜,併與ZnO單晶材料進行比較,證實瞭ZnO薄膜的形成.採用慢正電子束技術對ZnO薄膜的微觀結構進行瞭研究,髮現在薄膜中存在大量的空位型缺陷.噹氧化後的薄膜在高溫下退火後,缺陷濃度逐漸降低,在達到900 ℃時,所製備的ZnO薄膜中缺陷基本得到消除.
용맥충격광침적방법재Al2O3(0001)츤저상제비료Zn박막,병재공기중양화득도료ZnO박막.이용Raman광보측량료양화법제비적박막,병여ZnO단정재료진행비교,증실료ZnO박막적형성.채용만정전자속기술대ZnO박막적미관결구진행료연구,발현재박막중존재대량적공위형결함.당양화후적박막재고온하퇴화후,결함농도축점강저,재체도900 ℃시,소제비적ZnO박막중결함기본득도소제.
