实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2007年
7期
20-22
,共3页
椭偏仪%薄膜%倾斜度%相对误差
橢偏儀%薄膜%傾斜度%相對誤差
타편의%박막%경사도%상대오차
为了研究薄膜样品的倾斜程度对椭偏法测量薄膜参数的影响,运用椭偏法测量原理及Matlab软件,分析与计算了薄膜样品的倾斜度对测量薄膜参数的影响程度,结果表明这种影响是很小的,并通过实验验证了理论分析与实验结果是相符的.为迅速调整好椭偏仪提供了理论和实验依据.
為瞭研究薄膜樣品的傾斜程度對橢偏法測量薄膜參數的影響,運用橢偏法測量原理及Matlab軟件,分析與計算瞭薄膜樣品的傾斜度對測量薄膜參數的影響程度,結果錶明這種影響是很小的,併通過實驗驗證瞭理論分析與實驗結果是相符的.為迅速調整好橢偏儀提供瞭理論和實驗依據.
위료연구박막양품적경사정도대타편법측량박막삼수적영향,운용타편법측량원리급Matlab연건,분석여계산료박막양품적경사도대측량박막삼수적영향정도,결과표명저충영향시흔소적,병통과실험험증료이론분석여실험결과시상부적.위신속조정호타편의제공료이론화실험의거.
