电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2006年
4期
24-25,39
,共3页
双光电探测器%浅沟槽隔离%器件模拟%响应度
雙光電探測器%淺溝槽隔離%器件模擬%響應度
쌍광전탐측기%천구조격리%기건모의%향응도
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成.通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度.结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好的特性,响应度和响应速度都优于双光电探测器.
提齣一種新型光電探測器,採用淺溝槽隔離工藝,在雙光電探測器基礎上製作而成.通過使用Silvaco公司的器件模擬軟件Atlas進行器件模擬,分析瞭淺溝槽對探測器關鍵參數的影響,包括響應度和響應速度.結果錶明,淺溝槽雙光電探測器具有良好的特性,響應度和響應速度都優于雙光電探測器.
제출일충신형광전탐측기,채용천구조격리공예,재쌍광전탐측기기출상제작이성.통과사용Silvaco공사적기건모의연건Atlas진행기건모의,분석료천구조대탐측기관건삼수적영향,포괄향응도화향응속도.결과표명,천구조쌍광전탐측기구유량호적특성,향응도화향응속도도우우쌍광전탐측기.
