金属功能材料
金屬功能材料
금속공능재료
METALLIC FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
2期
25-28
,共4页
林锋%于月光%李世晨%曾克里%任先京%贾贤赏
林鋒%于月光%李世晨%曾剋裏%任先京%賈賢賞
림봉%우월광%리세신%증극리%임선경%가현상
直流磁控溅射%薄膜%热敏电阻%铂
直流磁控濺射%薄膜%熱敏電阻%鉑
직류자공천사%박막%열민전조%박
本文采用直流磁控溅射方法,在特殊的含氧气氛条件下,用高纯铂靶在氧化铝陶瓷基板上制备出高性能铂薄膜热敏电阻.利用扫描电子显微镜对铂电阻薄膜微观组织进行分析,利用X射线衍射分析仪对薄膜的物相及晶粒尺寸进行标定.测定薄膜铂电阻的阻温特性曲线,计算电阻温度系数(TCR)值.结果表明:含氧气氛下直流磁控溅射制备的薄膜铂电阻经过高温处理后完全脱氧,得到纯度高、结构致密均匀、附着强度高、热敏电阻性能优异的高性能铂薄膜电阻.
本文採用直流磁控濺射方法,在特殊的含氧氣氛條件下,用高純鉑靶在氧化鋁陶瓷基闆上製備齣高性能鉑薄膜熱敏電阻.利用掃描電子顯微鏡對鉑電阻薄膜微觀組織進行分析,利用X射線衍射分析儀對薄膜的物相及晶粒呎吋進行標定.測定薄膜鉑電阻的阻溫特性麯線,計算電阻溫度繫數(TCR)值.結果錶明:含氧氣氛下直流磁控濺射製備的薄膜鉑電阻經過高溫處理後完全脫氧,得到純度高、結構緻密均勻、附著彊度高、熱敏電阻性能優異的高性能鉑薄膜電阻.
본문채용직류자공천사방법,재특수적함양기분조건하,용고순박파재양화려도자기판상제비출고성능박박막열민전조.이용소묘전자현미경대박전조박막미관조직진행분석,이용X사선연사분석의대박막적물상급정립척촌진행표정.측정박막박전조적조온특성곡선,계산전조온도계수(TCR)치.결과표명:함양기분하직류자공천사제비적박막박전조경과고온처리후완전탈양,득도순도고、결구치밀균균、부착강도고、열민전조성능우이적고성능박박막전조.
