CAJ | 학술논문

微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成为一个重要的平台.除了尺度测量外,当人们对表面力和原子间的相互作用力需要更准确和绝对的数值时,需要对微悬臂的弹性系数进行准确的标定,弹性系数的测量精度影响测量力学量的最终结果.本文对目前发展起来的几种标定方法,如参考悬臂梁的标定方法、悬臂梁的共振法和悬臂梁的热噪声振动法,从原理上和试验上进行总结和分析,对相应测试方法和影响测试精度的相关因素进行评述.
미궤계가공제조적미현비량/탐침재과학연구화공업생산중유착중요적응용,작위원자력현미경중적관건핵심조건,미현비/탐침결구재허다영역여표면특성연구화미가공등영역분연착중요적각색.목전,우기재생물、화학、화위험물품적검측상이경성위일개중요적평태.제료척도측량외,당인문대표면력화원자간적상호작용력수요경준학화절대적수치시,수요대미현비적탄성계수진행준학적표정,탄성계수적측량정도영향측량역학량적최종결과.본문대목전발전기래적궤충표정방법,여삼고현비량적표정방법、현비량적공진법화현비량적열조성진동법,종원리상화시험상진행총결화분석,대상응측시방법화영향측시정도적상관인소진행평술.