红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2005年
5期
390-393
,共4页
陈思乡%江征风%胡业发%刘文
陳思鄉%江徵風%鬍業髮%劉文
진사향%강정풍%호업발%류문
平面光波导%硼磷硅玻璃%等离子体增强化学气相沉积%台阶覆盖
平麵光波導%硼燐硅玻璃%等離子體增彊化學氣相沉積%檯階覆蓋
평면광파도%붕린규파리%등리자체증강화학기상침적%태계복개
利用等离子体增强化学气相沉积方法,在SiH4/N2O反应气体中掺入PH3和B2H6制备了用于硅基SiO2平面光波导的硼磷硅玻璃覆盖层.分析了磷掺杂和硼掺杂对折射率的影响,提出了选择掺杂气体流量匹配折射率的方法.研究了退火温度和气氛对膜层性能的影响,高温退火使膜层的折射率趋于稳定,对光的吸收损耗减小;采用氧气退火可以抑制和消除氮气退火时膜层中出现的不透明的微晶粒,改善膜层质量.采用多步沉积退火方法,消除了台阶覆盖中出现的空洞和气泡,得到了台阶的覆盖性和覆盖平坦度都较好的硼磷硅玻璃膜层.
利用等離子體增彊化學氣相沉積方法,在SiH4/N2O反應氣體中摻入PH3和B2H6製備瞭用于硅基SiO2平麵光波導的硼燐硅玻璃覆蓋層.分析瞭燐摻雜和硼摻雜對摺射率的影響,提齣瞭選擇摻雜氣體流量匹配摺射率的方法.研究瞭退火溫度和氣氛對膜層性能的影響,高溫退火使膜層的摺射率趨于穩定,對光的吸收損耗減小;採用氧氣退火可以抑製和消除氮氣退火時膜層中齣現的不透明的微晶粒,改善膜層質量.採用多步沉積退火方法,消除瞭檯階覆蓋中齣現的空洞和氣泡,得到瞭檯階的覆蓋性和覆蓋平坦度都較好的硼燐硅玻璃膜層.
이용등리자체증강화학기상침적방법,재SiH4/N2O반응기체중참입PH3화B2H6제비료용우규기SiO2평면광파도적붕린규파리복개층.분석료린참잡화붕참잡대절사솔적영향,제출료선택참잡기체류량필배절사솔적방법.연구료퇴화온도화기분대막층성능적영향,고온퇴화사막층적절사솔추우은정,대광적흡수손모감소;채용양기퇴화가이억제화소제담기퇴화시막층중출현적불투명적미정립,개선막층질량.채용다보침적퇴화방법,소제료태계복개중출현적공동화기포,득도료태계적복개성화복개평탄도도교호적붕린규파리막층.
