材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2005年
2期
103-105
,共3页
郝兰众%李燕%邓宏%刘云杰%姬洪
郝蘭衆%李燕%鄧宏%劉雲傑%姬洪
학란음%리연%산굉%류운걸%희홍
超晶格薄膜%LaAlO3/BaTiO3%高能电子衍射%小角X射线衍射%激光分子束外延技术
超晶格薄膜%LaAlO3/BaTiO3%高能電子衍射%小角X射線衍射%激光分子束外延技術
초정격박막%LaAlO3/BaTiO3%고능전자연사%소각X사선연사%격광분자속외연기술
通过研究发现,利用激光分子束外延技术生长的LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜具有良好的电学性能,其剩余极化可达到25μc/cm2.性能决定于结构,因此本文分析研究了LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的界面结构.首先通过高能电子衍射技术在薄膜生长过程中对各层的生长及界面状况进行观测,再通过小角X射线衍射曲线及其计算机拟合曲线进一步确定超晶格薄膜的界面及结构参数,如界面的粗糙度、单层厚度等.通过研究发现,由于晶格之间的差异,LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜中LaAlO3和BaTiO3层的生长过程及微结构存在着一定的差异.
通過研究髮現,利用激光分子束外延技術生長的LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜具有良好的電學性能,其剩餘極化可達到25μc/cm2.性能決定于結構,因此本文分析研究瞭LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的界麵結構.首先通過高能電子衍射技術在薄膜生長過程中對各層的生長及界麵狀況進行觀測,再通過小角X射線衍射麯線及其計算機擬閤麯線進一步確定超晶格薄膜的界麵及結構參數,如界麵的粗糙度、單層厚度等.通過研究髮現,由于晶格之間的差異,LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜中LaAlO3和BaTiO3層的生長過程及微結構存在著一定的差異.
통과연구발현,이용격광분자속외연기술생장적LaAlO3/BaTiO3초정격박막구유량호적전학성능,기잉여겁화가체도25μc/cm2.성능결정우결구,인차본문분석연구료LaAlO3/BaTiO3초정격박막적계면결구.수선통과고능전자연사기술재박막생장과정중대각층적생장급계면상황진행관측,재통과소각X사선연사곡선급기계산궤의합곡선진일보학정초정격박막적계면급결구삼수,여계면적조조도、단층후도등.통과연구발현,유우정격지간적차이,LaAlO3/BaTiO3초정격박막중LaAlO3화BaTiO3층적생장과정급미결구존재착일정적차이.
