功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
3143-3145
,共3页
氧化钛薄膜%非平衡磁控溅射%晶体结构%离子/原子到达比
氧化鈦薄膜%非平衡磁控濺射%晶體結構%離子/原子到達比
양화태박막%비평형자공천사%정체결구%리자/원자도체비
用非平衡磁控溅射技术制备氧化钛薄膜.研究了基体偏压、沉积温度、基体性质及溅射功率对薄膜晶体结构的影响.结果表明,到达基体的粒子的能量和离子/原子比是影响氧化钛薄膜晶体结构的主要因素;而到达基体的离子/原子比是生成完全金红石结构氧化钛薄膜的决定性因素.
用非平衡磁控濺射技術製備氧化鈦薄膜.研究瞭基體偏壓、沉積溫度、基體性質及濺射功率對薄膜晶體結構的影響.結果錶明,到達基體的粒子的能量和離子/原子比是影響氧化鈦薄膜晶體結構的主要因素;而到達基體的離子/原子比是生成完全金紅石結構氧化鈦薄膜的決定性因素.
용비평형자공천사기술제비양화태박막.연구료기체편압、침적온도、기체성질급천사공솔대박막정체결구적영향.결과표명,도체기체적입자적능량화리자/원자비시영향양화태박막정체결구적주요인소;이도체기체적리자/원자비시생성완전금홍석결구양화태박막적결정성인소.
