新材料产业
新材料產業
신재료산업
ADVANCED MATERIALS INDUSTRY
2004年
3期
30-38
,共9页
蒋荣华%肖顺珍%张建新%杨卫东
蔣榮華%肖順珍%張建新%楊衛東
장영화%초순진%장건신%양위동
半导体硅%单晶硅%多晶硅%硅片
半導體硅%單晶硅%多晶硅%硅片
반도체규%단정규%다정규%규편
本文综述了新世纪高速发展的深亚微米级集成电路对硅材料的新要求,以及国内外硅材料的最新研究和发展状况.还叙述了国内外多晶硅和单晶硅材料的生产技术和市场状况.指出了国内存在的差距并提出了发展我国硅材料的建议.
本文綜述瞭新世紀高速髮展的深亞微米級集成電路對硅材料的新要求,以及國內外硅材料的最新研究和髮展狀況.還敘述瞭國內外多晶硅和單晶硅材料的生產技術和市場狀況.指齣瞭國內存在的差距併提齣瞭髮展我國硅材料的建議.
본문종술료신세기고속발전적심아미미급집성전로대규재료적신요구,이급국내외규재료적최신연구화발전상황.환서술료국내외다정규화단정규재료적생산기술화시장상황.지출료국내존재적차거병제출료발전아국규재료적건의.
