机械工程材料
機械工程材料
궤계공정재료
MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
2004年
1期
20-22
,共3页
彭志坚%苗赫濯%杨思泽%刘赤子%齐龙浩%潘伟
彭誌堅%苗赫濯%楊思澤%劉赤子%齊龍浩%潘偉
팽지견%묘혁탁%양사택%류적자%제룡호%반위
高能量密度脉冲等离子体%碳氮化钛薄膜%刀具%相转化
高能量密度脈遲等離子體%碳氮化鈦薄膜%刀具%相轉化
고능량밀도맥충등리자체%탄담화태박막%도구%상전화
用高能量密度脉冲等离子体同轴枪分别在硬质合金和氮化硅陶瓷刀具基体上沉积了Ti(C,N)薄膜,研究了各种因素对薄膜相转化的影响,通过XRD分析,最后得到合适的Ti(C,N)薄膜沉积工艺条件是:枪压3.5kV,同轴枪与试样间距30～40mm,氮气进气压力0.2MPa,电磁阀电压1.5kV,脉冲等离子轰击次数5次以上.
用高能量密度脈遲等離子體同軸鎗分彆在硬質閤金和氮化硅陶瓷刀具基體上沉積瞭Ti(C,N)薄膜,研究瞭各種因素對薄膜相轉化的影響,通過XRD分析,最後得到閤適的Ti(C,N)薄膜沉積工藝條件是:鎗壓3.5kV,同軸鎗與試樣間距30～40mm,氮氣進氣壓力0.2MPa,電磁閥電壓1.5kV,脈遲等離子轟擊次數5次以上.
용고능량밀도맥충등리자체동축창분별재경질합금화담화규도자도구기체상침적료Ti(C,N)박막,연구료각충인소대박막상전화적영향,통과XRD분석,최후득도합괄적Ti(C,N)박막침적공예조건시:창압3.5kV,동축창여시양간거30～40mm,담기진기압력0.2MPa,전자벌전압1.5kV,맥충등리자굉격차수5차이상.
