半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2003年
4期
401-405
,共5页
顾洪明%吕苗%梁春广%高葆新
顧洪明%呂苗%樑春廣%高葆新
고홍명%려묘%량춘엄%고보신
MEMS%开关%E类放大器
MEMS%開關%E類放大器
MEMS%개관%E류방대기
对采用MEMS开关的E类放大器进行了原型仿真,并且通过工艺流片制作MEMS开关,搭建E类放大器电路进行测试.测试结果显示,这种机械式的放大器同样能实现有源放大器的功能.测试得到的放大器实际效率与原型模拟结果一致,而放大器的功率增益高达2000.
對採用MEMS開關的E類放大器進行瞭原型倣真,併且通過工藝流片製作MEMS開關,搭建E類放大器電路進行測試.測試結果顯示,這種機械式的放大器同樣能實現有源放大器的功能.測試得到的放大器實際效率與原型模擬結果一緻,而放大器的功率增益高達2000.
대채용MEMS개관적E류방대기진행료원형방진,병차통과공예류편제작MEMS개관,탑건E류방대기전로진행측시.측시결과현시,저충궤계식적방대기동양능실현유원방대기적공능.측시득도적방대기실제효솔여원형모의결과일치,이방대기적공솔증익고체2000.
