核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2000年
3期
145-149
,共5页
多新中%刘卫丽%张苗%高剑侠%符晓荣%林成鲁
多新中%劉衛麗%張苗%高劍俠%符曉榮%林成魯
다신중%류위려%장묘%고검협%부효영%림성로
H+注入%X射线多晶衍射%背散射沟道分析
H+註入%X射線多晶衍射%揹散射溝道分析
H+주입%X사선다정연사%배산사구도분석
用X射线四晶衍射仪测量了不同温度下退火的注氢单晶硅的摇摆曲线,分析了不同温度退火后晶格内应力产生及消失的过程.并与离子背散射沟道分析进行了比较.结果表明,在400℃左右,氢注入形成的氢复合体分解,形成氢分子,氢分子在晶格中聚集,生成氢气,在高温下膨胀,引起晶格形变,并产生缺陷;当退火温度达到500℃以后,氢气的膨胀已超过晶体的屈服强度,产生了大量的缺陷、位错,同时在硅晶体内形成气泡,并在硅晶体表面造成砂眼、剥离等现象.
用X射線四晶衍射儀測量瞭不同溫度下退火的註氫單晶硅的搖襬麯線,分析瞭不同溫度退火後晶格內應力產生及消失的過程.併與離子揹散射溝道分析進行瞭比較.結果錶明,在400℃左右,氫註入形成的氫複閤體分解,形成氫分子,氫分子在晶格中聚集,生成氫氣,在高溫下膨脹,引起晶格形變,併產生缺陷;噹退火溫度達到500℃以後,氫氣的膨脹已超過晶體的屈服彊度,產生瞭大量的缺陷、位錯,同時在硅晶體內形成氣泡,併在硅晶體錶麵造成砂眼、剝離等現象.
용X사선사정연사의측량료불동온도하퇴화적주경단정규적요파곡선,분석료불동온도퇴화후정격내응력산생급소실적과정.병여리자배산사구도분석진행료비교.결과표명,재400℃좌우,경주입형성적경복합체분해,형성경분자,경분자재정격중취집,생성경기,재고온하팽창,인기정격형변,병산생결함;당퇴화온도체도500℃이후,경기적팽창이초과정체적굴복강도,산생료대량적결함、위착,동시재규정체내형성기포,병재규정체표면조성사안、박리등현상.
