真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
3期
216-218,222
,共4页
孙书龙%杨会生%王燕斌%熊小涛
孫書龍%楊會生%王燕斌%熊小濤
손서룡%양회생%왕연빈%웅소도
霍尔离子源%类金刚石薄膜
霍爾離子源%類金剛石薄膜
곽이리자원%류금강석박막
采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜是近年来新出现的一种方法,本文研究了自行研制的霍尔离子源的性能以及采用此离子源制备类金刚石薄膜及工艺参数的影响.结果表明,霍尔离子源在较低的电压即可起辉,可提供稳定的能量较低的离子束流.采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜的沉积速率约为0.5 nm/s.随着霍尔离子源灯丝电流的升高,离子源放电电压下降,制备的类金刚石薄膜的硬度下降.放电电流的变化对类金刚石薄膜的硬度影响不大.
採用霍爾離子源沉積類金剛石薄膜是近年來新齣現的一種方法,本文研究瞭自行研製的霍爾離子源的性能以及採用此離子源製備類金剛石薄膜及工藝參數的影響.結果錶明,霍爾離子源在較低的電壓即可起輝,可提供穩定的能量較低的離子束流.採用霍爾離子源沉積類金剛石薄膜的沉積速率約為0.5 nm/s.隨著霍爾離子源燈絲電流的升高,離子源放電電壓下降,製備的類金剛石薄膜的硬度下降.放電電流的變化對類金剛石薄膜的硬度影響不大.
채용곽이리자원침적류금강석박막시근년래신출현적일충방법,본문연구료자행연제적곽이리자원적성능이급채용차리자원제비류금강석박막급공예삼수적영향.결과표명,곽이리자원재교저적전압즉가기휘,가제공은정적능량교저적리자속류.채용곽이리자원침적류금강석박막적침적속솔약위0.5 nm/s.수착곽이리자원등사전류적승고,리자원방전전압하강,제비적류금강석박막적경도하강.방전전류적변화대류금강석박막적경도영향불대.
