云南大学学报
雲南大學學報
운남대학학보
JOURNAL OF YUNNAN UNIVERSITY
1999年
1期
27-31
,共5页
毛旭%周祯来%张永俐%杨宇
毛旭%週禎來%張永俐%楊宇
모욱%주정래%장영리%양우
磁控溅射%Co/Si多层膜%X射线小角衍射
磁控濺射%Co/Si多層膜%X射線小角衍射
자공천사%Co/Si다층막%X사선소각연사
用超高真空磁控溅射设备在不同溅射压强及衬底温度的工艺条件下制备了一系列Co/Si多层膜.X射线小角衍射证实所研制的多层膜具有周期调制结构.分别采用不同的理论方法计算了多层膜的周期和折射修正项.表明修正项不再仅对折射效应修正,而应理解为更广义的修正项.并应用广义修正总多层膜厚度Bragg公式确定出了主峰之间次峰的级数.
用超高真空磁控濺射設備在不同濺射壓彊及襯底溫度的工藝條件下製備瞭一繫列Co/Si多層膜.X射線小角衍射證實所研製的多層膜具有週期調製結構.分彆採用不同的理論方法計算瞭多層膜的週期和摺射脩正項.錶明脩正項不再僅對摺射效應脩正,而應理解為更廣義的脩正項.併應用廣義脩正總多層膜厚度Bragg公式確定齣瞭主峰之間次峰的級數.
용초고진공자공천사설비재불동천사압강급츤저온도적공예조건하제비료일계렬Co/Si다층막.X사선소각연사증실소연제적다층막구유주기조제결구.분별채용불동적이론방법계산료다층막적주기화절사수정항.표명수정항불재부대절사효응수정,이응리해위경엄의적수정항.병응용엄의수정총다층막후도Bragg공식학정출료주봉지간차봉적급수.
