人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
1998年
2期
132-136
,共5页
潘永东%钱梦騄%侯立%刘尔凯
潘永東%錢夢騄%侯立%劉爾凱
반영동%전몽록%후립%류이개
金刚石膜%压电薄膜%激光超声%化学气相沉积
金剛石膜%壓電薄膜%激光超聲%化學氣相沉積
금강석막%압전박막%격광초성%화학기상침적
本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.
本文介紹瞭壓電薄膜檢測的激光超聲繫統對CVD金剛石膜聲速測量的原理及方法.利用反射迴波法對二塊金剛石膜試樣的縱波聲速的測量結果為(2.010±0.014)×104m/s,證實瞭CVD金剛石膜的高聲速特性.
본문개소료압전박막검측적격광초성계통대CVD금강석막성속측량적원리급방법.이용반사회파법대이괴금강석막시양적종파성속적측량결과위(2.010±0.014)×104m/s,증실료CVD금강석막적고성속특성.
