河北科技大学学报
河北科技大學學報
하북과기대학학보
JOURNAL OF THE HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND ECHNOLOGY
2003年
2期
77-80
,共4页
薛建华%韩丹%杨秀文%魏江南
薛建華%韓丹%楊秀文%魏江南
설건화%한단%양수문%위강남
薄金属膜%光学常数%椭偏测光法%单纯形法
薄金屬膜%光學常數%橢偏測光法%單純形法
박금속막%광학상수%타편측광법%단순형법
依据椭偏测光法的原理,采用内外反射法测量透明基底上薄金属膜的光学常数的厚度,并在计算机上利用单纯形法计算得到薄金属膜的折射率、消光系数和几何厚度,并对数据进行了系统误差的修正.
依據橢偏測光法的原理,採用內外反射法測量透明基底上薄金屬膜的光學常數的厚度,併在計算機上利用單純形法計算得到薄金屬膜的摺射率、消光繫數和幾何厚度,併對數據進行瞭繫統誤差的脩正.
의거타편측광법적원리,채용내외반사법측량투명기저상박금속막적광학상수적후도,병재계산궤상이용단순형법계산득도박금속막적절사솔、소광계수화궤하후도,병대수거진행료계통오차적수정.
