真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
1期
47-49
,共3页
王培元%沈宏%秦宗益%应萱同%王培南
王培元%瀋宏%秦宗益%應萱同%王培南
왕배원%침굉%진종익%응훤동%왕배남
直流辉光放电%氮离子束%质谱分析
直流輝光放電%氮離子束%質譜分析
직류휘광방전%담리자속%질보분석
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计,对放电参数进行了分析,根据离子束流的质谱测量可知,氮离子束中N+与N+2之比可高达5∶1,大大优于其他的一些离子束源.对这个离子束源的应用作了简单的介绍.
本文介紹瞭一種採用直流輝光放電的氮原子離子束源的設計,對放電參數進行瞭分析,根據離子束流的質譜測量可知,氮離子束中N+與N+2之比可高達5∶1,大大優于其他的一些離子束源.對這箇離子束源的應用作瞭簡單的介紹.
본문개소료일충채용직류휘광방전적담원자리자속원적설계,대방전삼수진행료분석,근거리자속류적질보측량가지,담리자속중N+여N+2지비가고체5∶1,대대우우기타적일사리자속원.대저개리자속원적응용작료간단적개소.
