传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2002年
6期
8-14,18
,共8页
黄卫东%彩霞%徐步陆%罗乐%程兆年
黃衛東%綵霞%徐步陸%囉樂%程兆年
황위동%채하%서보륙%라악%정조년
高gn值加速度传感器%传感器封装%频域分析%时域分析
高gn值加速度傳感器%傳感器封裝%頻域分析%時域分析
고gn치가속도전감기%전감기봉장%빈역분석%시역분석
对一种新型双悬臂梁高gn值MEMS加速度传感器进行有限元模拟.采用双悬臂梁传感芯片的一种实际封装结构,进行频域分析和时域分析,讨论封合传感器芯片和封装基体的封合材料对其输出信号的影响.频域分析表明,封合材料的杨氏模量对封装后加速度传感器整体的振动模态有一定影响,封合胶的杨氏模量很小时,会致使加速度传感器的信号失真,模拟表明可选用杨氏模量足够高的环氧树脂类作高gn值传感器的封合材料.时域分析静态模拟表明,封合材料的杨氏模量,对最大等效应力和沿加载垂直方向的正应力最大最小值基本无影响.时域分析动态模拟表明,随着封合材料杨氏模量的提高,动态模拟输出的悬臂梁末端节点位移的波形和其经数字滤波后输出的信号变好,封合材料的杨氏模量不影响输出信号的频率和均值,在加速度脉冲幅值输入信号变化时,悬臂梁末端位移平均值输出信号与输入有良好的线性关系.
對一種新型雙懸臂樑高gn值MEMS加速度傳感器進行有限元模擬.採用雙懸臂樑傳感芯片的一種實際封裝結構,進行頻域分析和時域分析,討論封閤傳感器芯片和封裝基體的封閤材料對其輸齣信號的影響.頻域分析錶明,封閤材料的楊氏模量對封裝後加速度傳感器整體的振動模態有一定影響,封閤膠的楊氏模量很小時,會緻使加速度傳感器的信號失真,模擬錶明可選用楊氏模量足夠高的環氧樹脂類作高gn值傳感器的封閤材料.時域分析靜態模擬錶明,封閤材料的楊氏模量,對最大等效應力和沿加載垂直方嚮的正應力最大最小值基本無影響.時域分析動態模擬錶明,隨著封閤材料楊氏模量的提高,動態模擬輸齣的懸臂樑末耑節點位移的波形和其經數字濾波後輸齣的信號變好,封閤材料的楊氏模量不影響輸齣信號的頻率和均值,在加速度脈遲幅值輸入信號變化時,懸臂樑末耑位移平均值輸齣信號與輸入有良好的線性關繫.
대일충신형쌍현비량고gn치MEMS가속도전감기진행유한원모의.채용쌍현비량전감심편적일충실제봉장결구,진행빈역분석화시역분석,토론봉합전감기심편화봉장기체적봉합재료대기수출신호적영향.빈역분석표명,봉합재료적양씨모량대봉장후가속도전감기정체적진동모태유일정영향,봉합효적양씨모량흔소시,회치사가속도전감기적신호실진,모의표명가선용양씨모량족구고적배양수지류작고gn치전감기적봉합재료.시역분석정태모의표명,봉합재료적양씨모량,대최대등효응력화연가재수직방향적정응력최대최소치기본무영향.시역분석동태모의표명,수착봉합재료양씨모량적제고,동태모의수출적현비량말단절점위이적파형화기경수자려파후수출적신호변호,봉합재료적양씨모량불영향수출신호적빈솔화균치,재가속도맥충폭치수입신호변화시,현비량말단위이평균치수출신호여수입유량호적선성관계.
