大连轻工业学院学报
大連輕工業學院學報
대련경공업학원학보
JOURNAL OF DALIAN INSTITUTE OF LIGHT INDUSTRY
2002年
4期
238-241
,共4页
透明导电膜%掺杂Sb%溶胶-凝胶法
透明導電膜%摻雜Sb%溶膠-凝膠法
투명도전막%참잡Sb%용효-응효법
采用溶胶-凝胶方法制备了SnO2掺杂Sb的透明导电膜(简称ATO膜),并讨论了掺杂量和热处理条件对膜可见光透过率及膜电阻率的影响,用XRD,SEM,TG-DTA以及IR等研究了所得薄膜的结构性质,制备出导电性能优良的透明导电膜.
採用溶膠-凝膠方法製備瞭SnO2摻雜Sb的透明導電膜(簡稱ATO膜),併討論瞭摻雜量和熱處理條件對膜可見光透過率及膜電阻率的影響,用XRD,SEM,TG-DTA以及IR等研究瞭所得薄膜的結構性質,製備齣導電性能優良的透明導電膜.
채용용효-응효방법제비료SnO2참잡Sb적투명도전막(간칭ATO막),병토론료참잡량화열처리조건대막가견광투과솔급막전조솔적영향,용XRD,SEM,TG-DTA이급IR등연구료소득박막적결구성질,제비출도전성능우량적투명도전막.
