真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2002年
4期
63-67
,共5页
徐成海%刘春姐%张世伟%关奎之
徐成海%劉春姐%張世偉%關奎之
서성해%류춘저%장세위%관규지
综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题,以及对泵的选择和应用.
綜述瞭適閤于電子行業用的無油機械真空泵的種類,介紹幾種無油機械真空泵的結構、性能、特點和存在的問題,以及對泵的選擇和應用.
종술료괄합우전자행업용적무유궤계진공빙적충류,개소궤충무유궤계진공빙적결구、성능、특점화존재적문제,이급대빙적선택화응용.
