无机盐先驱体溶胶-凝胶法制备Al2O3薄膜的研究
무궤염선구체용효-응효법제비Al2O3박막적연구
Preparation of Al2O3 Film by Sol-gel Method Using Inorganic Salt as Precursors
  • 万方数据
    机械工程材料 궤계공정재료
    MATERIALS FOR MECHANICAL ENGINEERING
    2002年 3期 17-19 ,共3页

    张勤俭%张建华%李敏%张勤河%毕进子%张代林%任升峰%胡玉景

    장근검%장건화%리민%장근하%필진자%장대림%임승봉%호옥경

    无机盐先驱体%溶胶-凝胶法%Al2O3薄膜%界面 無機鹽先驅體%溶膠-凝膠法%Al2O3薄膜%界麵
    무궤염선구체%용효-응효법%Al2O3박막%계면
    用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.
    용무궤염선구체,용효-응효공예재양화려기공정도자상성공제비료Al2O3박막.용차열분석(DTA)、소묘전자현미경(SEM)、X사선연사(XRD)、이차리자질보(SIMS)등수단대Al2O3박막적물상조성、표면화단면형모급계면결구진행료분석.결과표명:제비적박막완정,내부무명현적굉관결함;Al2O3정립균균,주요물상위α-Al2O3;기체중적원소재박막중유명현적확산,유조우제고계면결합강도.
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