功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2002年
1期
52-54
,共3页
V2O5%薄膜%传感器%SO2
V2O5%薄膜%傳感器%SO2
V2O5%박막%전감기%SO2
在O2/Ar气氛中,用射频磁控溅射法在常温下溅射V2O5粉末靶得到氧化钒薄膜.在350℃热处理后,经XRD分析.薄膜的主要成分为V2O5.在不同温度下对v2O5薄膜作了对"空气和SO2"的混合气氛的敏感特性测试分析,发现在300～390℃范围内,薄膜对SO2气体灵敏度随温度的升高而增大,在超过390℃后,灵敏度随温度升高而降低.在SO2气体去除后,薄膜的电阻值能恢复到初始状态,气敏过程可反复进行.文章对V2Os薄膜的气敏机理作了定性描述.
在O2/Ar氣氛中,用射頻磁控濺射法在常溫下濺射V2O5粉末靶得到氧化釩薄膜.在350℃熱處理後,經XRD分析.薄膜的主要成分為V2O5.在不同溫度下對v2O5薄膜作瞭對"空氣和SO2"的混閤氣氛的敏感特性測試分析,髮現在300～390℃範圍內,薄膜對SO2氣體靈敏度隨溫度的升高而增大,在超過390℃後,靈敏度隨溫度升高而降低.在SO2氣體去除後,薄膜的電阻值能恢複到初始狀態,氣敏過程可反複進行.文章對V2Os薄膜的氣敏機理作瞭定性描述.
재O2/Ar기분중,용사빈자공천사법재상온하천사V2O5분말파득도양화범박막.재350℃열처리후,경XRD분석.박막적주요성분위V2O5.재불동온도하대v2O5박막작료대"공기화SO2"적혼합기분적민감특성측시분석,발현재300～390℃범위내,박막대SO2기체령민도수온도적승고이증대,재초과390℃후,령민도수온도승고이강저.재SO2기체거제후,박막적전조치능회복도초시상태,기민과정가반복진행.문장대V2Os박막적기민궤리작료정성묘술.
