CAJ | 학술논문

采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形成大颗粒岛状结构,颗粒生长整齐,尺寸大小均匀;生长在单晶 Zr(Y)O2 上的 YBCO 膜则形成起伏较大的层状与岛状生长的混合结构,这些差别的产生与衬底的初始状况及制备过程中膜与衬底的界面作用有关.分析了形成超导薄膜不同表面形貌的原因,从生长机理角度讨论了表面形貌与缺陷和位错的形成机制.
채용중공주음겁직류자공천사장치제비 YBCO 초도박막.응용원자력현미경(AFM)연구료재최가공예조건하침적재 LaAlO3 화 Zr(Y)O2 상적구유 c 축취향적 YBCO 초도박막급기상응츤저적표면형모.생장적 YBCO 막도구유교호적표면결구.재 LaAlO3 단정츤저상적 YBCO 막형성대과립도상결구,과립생장정제,척촌대소균균;생장재단정 Zr(Y)O2 상적 YBCO 막칙형성기복교대적층상여도상생장적혼합결구,저사차별적산생여츤저적초시상황급제비과정중막여츤저적계면작용유관.분석료형성초도박막불동표면형모적원인,종생장궤리각도토론료표면형모여결함화위착적형성궤제.