半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2001年
10期
1284-1286
,共3页
刘培东%黄笑容%沈益军%李立本%阙端麟
劉培東%黃笑容%瀋益軍%李立本%闕耑麟
류배동%황소용%침익군%리립본%궐단린
硅中氧%气体熔化分析法%红外光谱
硅中氧%氣體鎔化分析法%紅外光譜
규중양%기체용화분석법%홍외광보
研究了重掺硅中氧的测定,实验首先选用轻掺(ρ＞10Ω@cm)样品分别用气体熔化分析法(GFA法)和傅里叶变换红外法(FTIR法)测氧,而后用GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度.实验发现用GFA法和FTIR法测氧,二者的结果成很好的线性关系,为便于比较可将重掺硅在GFA法下的测定结果转换为FTIR法下的测定结果,还对影响GFA法测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨.
研究瞭重摻硅中氧的測定,實驗首先選用輕摻(ρ＞10Ω@cm)樣品分彆用氣體鎔化分析法(GFA法)和傅裏葉變換紅外法(FTIR法)測氧,而後用GFA法測定瞭重摻銻、砷、硼單晶的氧濃度.實驗髮現用GFA法和FTIR法測氧,二者的結果成很好的線性關繫,為便于比較可將重摻硅在GFA法下的測定結果轉換為FTIR法下的測定結果,還對影響GFA法測定結果的樣品製取、樣品處理、測試參數選擇等方麵進行瞭探討.
연구료중참규중양적측정,실험수선선용경참(ρ＞10Ω@cm)양품분별용기체용화분석법(GFA법)화부리협변환홍외법(FTIR법)측양,이후용GFA법측정료중참제、신、붕단정적양농도.실험발현용GFA법화FTIR법측양,이자적결과성흔호적선성관계,위편우비교가장중참규재GFA법하적측정결과전환위FTIR법하적측정결과,환대영향GFA법측정결과적양품제취、양품처리、측시삼수선택등방면진행료탐토.
