微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2002年
4期
58-60
,共3页
离子束%溅射%氧化钽层%绝缘性
離子束%濺射%氧化鐽層%絕緣性
리자속%천사%양화단층%절연성
介绍了一种具有高附着力和优良绝缘性能的Ta2O5介质膜,它由离子束溅射镀膜工艺制备而成.检测了在不同氧气流量下制备的氧化钽薄膜的绝缘性.结果表明:在其余条件相同的情况下,氧气流量越大所制备的薄膜绝缘程度越高.但当氧气流量达到一定的程度时,其绝缘程度不再有所变化.
介紹瞭一種具有高附著力和優良絕緣性能的Ta2O5介質膜,它由離子束濺射鍍膜工藝製備而成.檢測瞭在不同氧氣流量下製備的氧化鐽薄膜的絕緣性.結果錶明:在其餘條件相同的情況下,氧氣流量越大所製備的薄膜絕緣程度越高.但噹氧氣流量達到一定的程度時,其絕緣程度不再有所變化.
개소료일충구유고부착력화우량절연성능적Ta2O5개질막,타유리자속천사도막공예제비이성.검측료재불동양기류량하제비적양화단박막적절연성.결과표명:재기여조건상동적정황하,양기류량월대소제비적박막절연정도월고.단당양기류량체도일정적정도시,기절연정도불재유소변화.
