悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
현비식RF MEMS개관적설계여연제
Design of Micro Electro Mechanical System RF Switch
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2003年 11期 1190-1195 ,共6页

    郭方敏%赖宗声%朱自强%贾铭%初建朋%范忠%朱荣锦%戈肖鸿%杨根庆%陆卫

    곽방민%뢰종성%주자강%가명%초건붕%범충%주영금%과초홍%양근경%륙위

    悬臂梁%插入损耗%隔离度%ANSYS软件%阈值电压 懸臂樑%插入損耗%隔離度%ANSYS軟件%閾值電壓
    현비량%삽입손모%격리도%ANSYS연건%역치전압
    介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω*cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/Au CPW共面波导上,金/SiOxNy/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于"关断"态,其隔离度小于-35dB(20～40GHz);阈值电压为13V;开关处于"开通"态,插入损耗为4～7dB(1～10GHz),反射损耗为-15dB.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟.
    개소료일충제작재저조규(3～8Ω*cm)상적현비식RF MEMS개관.재Cr/Au CPW공면파도상,금/SiOxNy/금삼명치결구혹전도금작위현치가동비,정전수격작위개관궤리.당개관처우"관단"태,기격리도소우-35dB(20～40GHz);역치전압위13V;개관처우"개통"태,삽입손모위4～7dB(1～10GHz),반사손모위-15dB.령외,환분석료개관적현비량만곡도여구동전압적관계,병응용ANSYS연건대개관진행료전학、역학급우합특성적계산궤모의.
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