光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
11期
1501-1505
,共5页
探测器%位置敏感探测器%横向光电效应%梳状一维位置敏感探测器%条状一维位置敏感探测器
探測器%位置敏感探測器%橫嚮光電效應%梳狀一維位置敏感探測器%條狀一維位置敏感探測器
탐측기%위치민감탐측기%횡향광전효응%소상일유위치민감탐측기%조상일유위치민감탐측기
在常规的条状一维位置敏感探测器(PSD)中,光敏区和位置电阻区是结合在一起的,器件的欧姆接触电极难以做得比较理想,因此器件的位置准确度和线性度也受到了不利的影响.而在梳状一维位置敏感探测器中,光敏区和位置电阻区被分成了梳齿区和梳脊区两部分,并且位置电阻区被设计成很窄的长条,即使掺杂浓度比较高,位置电阻也能做得相当大.这样条状一维位置敏感探测器接触电极上的缺陷就可消除.用两种不同的一维位置敏感探测器所测量的位置特性曲线证实了理论分析的正确性.测量结果还表明,梳状一维位置敏感探测器的位置准确度和线性度比条状一维位置敏感探测器有了显著的提高,梳状一维位置敏感探测器的平均位置误差从条状一维位置敏感探测器的55 μm减小到了26μm,梳状一维位置敏感探测器的均方根非线性度从条状一维位置敏感探测器的0.94%减小到了0.09%.
在常規的條狀一維位置敏感探測器(PSD)中,光敏區和位置電阻區是結閤在一起的,器件的歐姆接觸電極難以做得比較理想,因此器件的位置準確度和線性度也受到瞭不利的影響.而在梳狀一維位置敏感探測器中,光敏區和位置電阻區被分成瞭梳齒區和梳脊區兩部分,併且位置電阻區被設計成很窄的長條,即使摻雜濃度比較高,位置電阻也能做得相噹大.這樣條狀一維位置敏感探測器接觸電極上的缺陷就可消除.用兩種不同的一維位置敏感探測器所測量的位置特性麯線證實瞭理論分析的正確性.測量結果還錶明,梳狀一維位置敏感探測器的位置準確度和線性度比條狀一維位置敏感探測器有瞭顯著的提高,梳狀一維位置敏感探測器的平均位置誤差從條狀一維位置敏感探測器的55 μm減小到瞭26μm,梳狀一維位置敏感探測器的均方根非線性度從條狀一維位置敏感探測器的0.94%減小到瞭0.09%.
재상규적조상일유위치민감탐측기(PSD)중,광민구화위치전조구시결합재일기적,기건적구모접촉전겁난이주득비교이상,인차기건적위치준학도화선성도야수도료불리적영향.이재소상일유위치민감탐측기중,광민구화위치전조구피분성료소치구화소척구량부분,병차위치전조구피설계성흔착적장조,즉사참잡농도비교고,위치전조야능주득상당대.저양조상일유위치민감탐측기접촉전겁상적결함취가소제.용량충불동적일유위치민감탐측기소측량적위치특성곡선증실료이론분석적정학성.측량결과환표명,소상일유위치민감탐측기적위치준학도화선성도비조상일유위치민감탐측기유료현저적제고,소상일유위치민감탐측기적평균위치오차종조상일유위치민감탐측기적55 μm감소도료26μm,소상일유위치민감탐측기적균방근비선성도종조상일유위치민감탐측기적0.94%감소도료0.09%.
