中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
14期
1272-1275
,共4页
吕湘连%苑伟政%何洋%霍鹏飞
呂湘連%苑偉政%何洋%霍鵬飛
려상련%원위정%하양%곽붕비
异构宏模型%系统级建模%微机电系统%仿真
異構宏模型%繫統級建模%微機電繫統%倣真
이구굉모형%계통급건모%미궤전계통%방진
针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真.以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真.
針對含複雜結構的MEMS器件,提齣基于異構宏模型的繫統級建模方法,即將基于解析法和基于數值計算的宏建模方法結閤起來提取複雜器件的參數化宏模型,在此基礎上實現MEMS繫統級倣真.以z軸加速度計為例,在Saber中進行其繫統級的時域、頻域倣真,將倣真結果與有限元分析進行瞭比較,其倣真時間小于3min,相對誤差小于3%,錶明該方法能夠快速有效地實現複雜結構MEMS器件的繫統級倣真.
침대함복잡결구적MEMS기건,제출기우이구굉모형적계통급건모방법,즉장기우해석법화기우수치계산적굉건모방법결합기래제취복잡기건적삼수화굉모형,재차기출상실현MEMS계통급방진.이z축가속도계위례,재Saber중진행기계통급적시역、빈역방진,장방진결과여유한원분석진행료비교,기방진시간소우3min,상대오차소우3%,표명해방법능구쾌속유효지실현복잡결구MEMS기건적계통급방진.
