摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2007年
3期
204-209
,共6页
张广安%吴志国%王明旭%范晓彦%王君%闫鹏勋
張廣安%吳誌國%王明旭%範曉彥%王君%閆鵬勛
장엄안%오지국%왕명욱%범효언%왕군%염붕훈
磁控溅射%Al/AlN多层膜%摩擦磨损性能
磁控濺射%Al/AlN多層膜%摩抆磨損性能
자공천사%Al/AlN다층막%마찰마손성능
采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能.结果表明:当AlN层较厚时,薄膜在很短时间内被磨穿;调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时,薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时,薄膜的摩擦系数较低,但硬度较低的薄膜由于承载能力不够,不能够保持优良的摩擦磨损性能.
採用柱狀靶磁控濺射繫統製備Al/AlN納米多層膜,採用納米壓痕儀測量Al/AlN納米多層膜的納米硬度,在UMT-2M型摩抆磨損試驗機上評價其摩抆磨損性能.結果錶明:噹AlN層較厚時,薄膜在很短時間內被磨穿;調節Al/AlN層厚比為2.9/1.1時,薄膜的摩抆磨損性能明顯提高;噹保持Al/AlN層厚比為2.9/1.1、變化多層膜的調製週期時,薄膜的摩抆繫數較低,但硬度較低的薄膜由于承載能力不夠,不能夠保持優良的摩抆磨損性能.
채용주상파자공천사계통제비Al/AlN납미다층막,채용납미압흔의측량Al/AlN납미다층막적납미경도,재UMT-2M형마찰마손시험궤상평개기마찰마손성능.결과표명:당AlN층교후시,박막재흔단시간내피마천;조절Al/AlN층후비위2.9/1.1시,박막적마찰마손성능명현제고;당보지Al/AlN층후비위2.9/1.1、변화다층막적조제주기시,박막적마찰계수교저,단경도교저적박막유우승재능력불구,불능구보지우량적마찰마손성능.
