传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
276-279
,共4页
尚永红%李艳秋%于红云%孙红光%苏波
尚永紅%李豔鞦%于紅雲%孫紅光%囌波
상영홍%리염추%우홍운%손홍광%소파
非接触式电容压力传感器%敏感元件%MEMS
非接觸式電容壓力傳感器%敏感元件%MEMS
비접촉식전용압력전감기%민감원건%MEMS
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题.通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析.计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度.根据优化设计,外加压力在0.2～1.4× lO.Pa间变化时,电容值在0.0251～0.0281 pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在Xy面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%.因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性.
將中心島膜結構的壓力敏感膜用在非接觸式電容式壓力傳感器中,解決瞭平膜結構帶來的各點撓度不同、非線性和需要後續補償電路的問題.通過對材料為多晶硅的中心島膜進行結構優化設計和撓度、應力等力學性能分析.計算瞭在不同外加壓力條件下壓力敏感膜的電容數值、靈敏度和線性度.根據優化設計,外加壓力在0.2～1.4× lO.Pa間變化時,電容值在0.0251～0.0281 pF間變化;通過分析兩種結構敏感膜在Xy麵內同一位置與中心撓度差的變化率,中心島膜結構的變化率為49.4%低于平膜結構1.7%.因而中心島膜結構比平膜結構有更好的靈敏度和線性.
장중심도막결구적압력민감막용재비접촉식전용식압력전감기중,해결료평막결구대래적각점뇨도불동、비선성화수요후속보상전로적문제.통과대재료위다정규적중심도막진행결구우화설계화뇨도、응력등역학성능분석.계산료재불동외가압력조건하압력민감막적전용수치、령민도화선성도.근거우화설계,외가압력재0.2～1.4× lO.Pa간변화시,전용치재0.0251～0.0281 pF간변화;통과분석량충결구민감막재Xy면내동일위치여중심뇨도차적변화솔,중심도막결구적변화솔위49.4%저우평막결구1.7%.인이중심도막결구비평막결구유경호적령민도화선성.
