GaN基薄膜材料的均匀性测试系统
GaN기박막재료적균균성측시계통
Uniformity testing system to GaN-based epitaxy materials
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2007年 z1期 148-151 ,共4页

    苏志国%许金通%胡其欣%陈俊%袁永刚%龚海梅%李向阳%刘骥

    소지국%허금통%호기흔%진준%원영강%공해매%리향양%류기

    GaN%均匀性测试 GaN%均勻性測試
    GaN%균균성측시
    利用光学方法对GaN基薄膜材料进行无损伤测试和评价,并搭建了相应的测试系统.通过对材料紫外波段透过率的面分布测试,得到对材料均匀性的定量评价.该系统在国内首次实现了对GaN基薄膜材料均匀性量化的测试.系统的研制成功为大面阵芯片的研制提供必要的筛选手段, .对优化薄膜材料生长具有指导意义.
    이용광학방법대GaN기박막재료진행무손상측시화평개,병탑건료상응적측시계통.통과대재료자외파단투과솔적면분포측시,득도대재료균균성적정량평개.해계통재국내수차실현료대GaN기박막재료균균성양화적측시.계통적연제성공위대면진심편적연제제공필요적사선수단, .대우화박막재료생장구유지도의의.
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